|
|
| الـ MOQ: | 1 |
| السعر: | $1000-$150000 |
| تفاصيل التعبئة: | خشبي |
| وقت التسليم: | 5-60 يوم |
| شروط الدفع: | L / C ، T / T ، D / A ، D / P ، MoneyGram ، ويسترن يونيون |
SS101رقائق-المستوى التوزيع آلة
بالنسبة لـ Wafer Form Underfill
SS101 هو نظام تزويد مستوى رقائق مستقر للغاية ودقيق تم تطويره بناءً على متطلبات عملية التعبئة تحت RDL First WLP.
المعدات تلبي احتياجات صناعة أشباه الموصلات، ويمكن تزويدها بنظام تحميل و تفريغ لوحات تلقائي، ويمكن أن تحقق تلقائيًا وظائف مثل التعامل مع لوحات،التوجيه، التسخين المسبق ، وتسخين التشغيل وتبديد الحرارة.ويتم توفيرها مع واجهة روبوت AMHS التحميل والتفريغ التلقائي لتتناسب مع
متطلبات إدارة المعلومات واتجاهات الإدارة بدون طيار.
SS101 تخطيط النظام
(لوادبورت) و (فوب)
مُحَدِّد
محطة فحص رموز QR
محطة التدفئة المسبقة
محطة تبديد الحرارة
محطة عمل آلة التوزيع GS600SWA محطة عمل آلة التوزيع GS600SWB
وحدة التحكم بالروبوت
المواصفات التقنية
| نظام SS101 | GS600SWA * 1 ، GS600SWB * 1 ، PC101 آلة معالجة الوافر * 1 (EFEM) | |
| مجالات التطبيق | RDL أول WLP، CUFالتطبيق | |
| مستوى النظافة | نظافة منطقة العمل |
الفئة 100 (ورشة الفئة 1000) الصف 10 (ورشة الصف 100) |
|
مجالات تطبيق المنتج |
دعم لحجم الوافر |
φ200mm±0.5mm، φ300mm±0.5mm (النموذج القياسي يدعم لوحات 12 بوصة فقط) |
| دعم سمك الوافر | 300-2550μm | |
| أقصى نطاق مسموح به للصفحة | < 5 ملم (حسب نوع أصابع الروبوت) | |
| الحد الأقصى المسموح به لوزن الشريحة | 600 غرام (وفقاً لنوع Robot Finger) | |
| شكل كاسيت من الوافرات | 8 بوصة كاسيت مفتوح، 12 بوصة فوب (النموذج القياسي يدعم الوافرات 12 بوصة فقط) | |
|
PC101 ((EFEM) |
طريقة التحميل والتفريغ | محطة الشحن+الروبوتات |
| دقة المحاذاة المسبقة | انحراف تصحيح المركز المستدير≤±0.1 ملم ؛ انحراف تصحيح الزاوية≤±0.2 درجة | |
| قارئ الوافرات | يدعم الخطوط SEMI (السطح المسطح أو المنحني / المنحني) ،خطوط غير SEMI | |
| نطاق درجة حرارة التسخين | درجة حرارة الغرفة 180 درجة مئوية | |
| طريقة تبريد الوافر | التبريد الطبيعي أو التبريد بالهواء | |
|
نظام تحرك الموزع |
آليات الإرسال | X/Y: المحرك الخطي Z: محرك الخدمة ووحدة المسامير |
| التكرار | X/Y: ±3μmZ: ±5μm | |
| دقة الموقع | X/Y: ± 10μm | |
| سرعة الحركة القصوى | X/Y: 1000mm/s Z: 500mm/s | |
| الحد الأقصى للسرعة المتسارعة | X/Y: 1g Z: 0.5g | |
|
نظام الرؤية |
بكسلات الكاميرا | 130 واط |
| دقة التعرف | ± 1 بكسل | |
| نطاق التعرف | 12 × 16 ملم < نطاق التعرف < 19.2 × 25.6 ملم | |
| مصدر الضوء | مصدر ضوء ثلاثي الألوان المركب الأحمر، الأخضر، الأبيض + الأحمر | |
| نظام معايرة الوزن | دقة الوزن | 0.01 ملغ |
|
علبة حمولة الطاولة |
انحراف مسطحة سطح الفراغ | ≤ 3 0 أم |
| نطاق درجة حرارة التدفئة | درجة حرارة الغرفة 180 درجة مئوية | |
| انحراف درجة حرارة التدفئة | ≤ ± 1.5 درجة مئوية | |
| إمكانية تكرار ارتفاع الرفع | ± 10 μm | |
| ضغط الشفط في الفراغ | -70 ~ 85Kpa قابلة للإعداد | |
|
المرافق |
البصمة (W*D*H) | 3075×2200×2200ملم ((الشاشة مفتوحة) |
| الوزن | 2.9t | |
| إمدادات الطاقة | 200~240VAC،47~63HZ (مصدر طاقة تكييف الجهد أحادي المرحلة) | |
| التيار الكهربائي | 75A | |
| القوة | 16.5 كيلوواط | |
| استنشاق | (0.5Mpa، 450L/min) ×5 طريق | |
| درجة حرارة البيئة | 23°C±3°C | |
| الرطوبة النسبية في بيئة العمل | 30 ~ 70% | |
