دارة متكاملة

SS101رقائق-المستوى التوزيع آلة   بالنسبة لـ Wafer Form Underfill SS101 هو نظام تزويد مستوى رقائق مستقر للغاية ودقيق تم تطويره بناءً على متطلبات عملية التعبئة تحت RDL First WLP. المعدات تلبي احتياجات صناعة أشباه الموصلات، ويمكن تزويدها بنظام تحميل و تفريغ لوحات تلقائي، ويمكن أن تحقق تلقائيًا وظائف مثل التعامل مع لوحات،التوجيه، التسخين المسبق ، وتسخين التشغيل وتبديد الحرارة.ويتم توفيرها مع واجهة روبوت AMHS التحميل والتفريغ التلقائي لتتناسب مع متطلبات إدارة المعلومات واتجاهات الإدارة بدون طيار.   SS101 تخطيط النظام   (لوادبورت) و (فوب) مُحَدِّد محطة فحص رموز QR محطة التدفئة المسبقة محطة تبديد الحرارة محطة عمل آلة التوزيع GS600SWA محطة عمل آلة التوزيع GS600SWB وحدة التحكم بالروبوت     تكوين نظام توزيع الصفائح SS101 GS600SW آلة تزويد مستوى الوافر × 2 PC101 آلة تحميل وتفريغ رقائق × 1 مجالات التطبيق RDL أول WLP تطبيق CUF SS101 تدفق عملية التوزيع على مستوى الوافر الخصائص والمزايا يدعم إعطاء رقائق 8/12 بوصة مستوى مقاومة للغبار 10، تلبية المتطلبات البيئية للتعبئة على مستوى رقائق. حماية ESD تلبي المعايير الدولية IEC و ANSI. في العملية بأكملها من دوران وافير وتشغيل، يتم التحكم بدقة في درجة الحرارة وتصحيحها تلقائيًا لتلبية متطلبات عملية CUF مع ضمان سلامة المنتج. مراقبة الفيديو للعملية بأكملها تسهل دوران المنتجات ومراقبة عملية التشغيل وتتبع المشاكل وتحليلها   المواصفات التقنية   نظام SS101 GS600SWA * 1 ، GS600SWB * 1 ، PC101 آلة معالجة الوافر * 1 (EFEM) مجالات التطبيق RDL أول WLP، CUFالتطبيق مستوى النظافة نظافة منطقة العمل الفئة 100 (ورشة الفئة 1000) الصف 10 (ورشة الصف 100)     مجالات تطبيق المنتج دعم لحجم الوافر φ200mm±0.5mm، φ300mm±0.5mm (النموذج القياسي يدعم لوحات 12 بوصة فقط) دعم سمك الوافر 300-2550μm أقصى نطاق مسموح به للصفحة < 5 ملم (حسب نوع أصابع الروبوت) الحد الأقصى المسموح به لوزن الشريحة 600 غرام (وفقاً لنوع Robot Finger) شكل كاسيت من الوافرات 8 بوصة كاسيت مفتوح، 12 بوصة فوب (النموذج القياسي يدعم الوافرات 12 بوصة فقط)     PC101 ((EFEM) طريقة التحميل والتفريغ محطة الشحن+الروبوتات دقة المحاذاة المسبقة انحراف تصحيح المركز المستدير≤±0.1 ملم ؛ انحراف تصحيح الزاوية≤±0.2 درجة قارئ الوافرات يدعم الخطوط SEMI (السطح المسطح أو المنحني / المنحني) ،خطوط غير SEMI نطاق درجة حرارة التسخين درجة حرارة الغرفة 180 درجة مئوية طريقة تبريد الوافر التبريد الطبيعي أو التبريد بالهواء     نظام تحرك الموزع آليات الإرسال X/Y: المحرك الخطي Z: محرك الخدمة ووحدة المسامير التكرار X/Y: ±3μmZ: ±5μm دقة الموقع X/Y: ± 10μm سرعة الحركة القصوى X/Y: 1000mm/s Z: 500mm/s الحد الأقصى للسرعة المتسارعة X/Y: 1g Z: 0.5g   نظام الرؤية بكسلات الكاميرا 130 واط دقة التعرف ± 1 بكسل نطاق التعرف 12 × 16 ملم < نطاق التعرف < 19.2 × 25.6 ملم مصدر الضوء مصدر ضوء ثلاثي الألوان المركب الأحمر، الأخضر، الأبيض + الأحمر نظام معايرة الوزن دقة الوزن 0.01 ملغ     علبة حمولة الطاولة انحراف مسطحة سطح الفراغ ≤ 3 0 أم نطاق درجة حرارة التدفئة درجة حرارة الغرفة 180 درجة مئوية انحراف درجة حرارة التدفئة ≤ ± 1.5 درجة مئوية إمكانية تكرار ارتفاع الرفع ± 10 μm ضغط الشفط في الفراغ -70 ~ 85Kpa قابلة للإعداد           المرافق البصمة (W*D*H) 3075×2200×2200ملم ((الشاشة مفتوحة) الوزن 2.9t إمدادات الطاقة 200~240VAC،47~63HZ (مصدر طاقة تكييف الجهد أحادي المرحلة) التيار الكهربائي 75A القوة 16.5 كيلوواط استنشاق (0.5Mpa، 450L/min) ×5 طريق درجة حرارة البيئة 23°C±3°C الرطوبة النسبية في بيئة العمل 30 ~ 70%    

GS600DD آلة التوزيع التلقائية بالكامل   من أجل السد والملء آلة التوزيع التلقائية الكاملة GS600DD هي قطعة من معدات التوزيع عالية الاستقرار والدقة التي تم تطويرها بناءً على متطلبات عملية Dam & Fill من FCBGA ، إلخ.المعدات تلبي احتياجات صناعة أشباه الموصلات، يتم تزويدها بنظام تحميل وتفريغ تلقائي ، ويمكن أن تحقق تلقائيًا وظائف تحميل وتفريغ المجلات ، ضخ الغراء والضخ الغراء.إنه متوافق مع بروتوكولات الاتصال الدولية للشرائح، وتتوافق مع متطلبات إدارة المعلومات واتجاهات الإدارة غير المأهولة.   تكوين النظام GS600DD آلة التوزيع الكاملة الآلية × 1 آلة تحميل وتفريغ المجلات الآلية × 1   تدفق العملية تحميل المجلات - ضخ الصمغ في السدود - ضخ الصمغ تحت الحمولة - إفراغ المجلات   الخصائص والفوائد امتصاص الصدمات الجيد مع هيكل الإطار المعدني للحد من الأثر الناجم عن تشغيل المعدات عالية السرعة. الكشف عن السعة والكشف عن الحث بالليزر لتجنب فقدان المنتج الناجم عن كمية غير كافية من الغراء مستوى 10 مقاومة للغبار، تلبية متطلبات بيئة التعبئة والتغليف وظيفة تعويض موقف التوزيع التلقائي لضمان دقة التوزيع حماية ESD تلبي المعايير الدولية IEC و ANSI. وظيفة الكشف عن عرض الغراء لتجنب مخاطر العملية الناجمة عن سوء التوزيع. المواصفات التقنية   النموذج GS600DD تكوين النظام GS600DD * 1، المجلة آلة تحميل وتفريغ تلقائية * 1 مجالات التطبيق إف سي بي جي إيه، التغليف السلكية الربط مستوى النظافة نظافة منطقة العمل الصف 100 (ورشة الفئة 1000) الصف 10 (ورشة الفئة 100) نظام النقل الأبعاد 770 × 1650 × 2100 ملم نظام نقل X/Y: المحرك الخطي Z: محرك الخدمة و وحدة المسمار قابلية التكرار (3 sigma) X/Y: ±5 μm Z: ±10 μm دقة الموقع (3 sigma) X/Y: ±10 μm Z: ±25 μm سرعة الحركة القصوى X/Y:1300mm/s Z: 500mm/s الحد الأقصى للسرعة المتسارعة إكس / يو:1.3g Z:0.5 غرام نطاق التوزيع 355mm × 595mm دقة الشبكة 1 μm دقة مطابقة مرئية متكررة 5μm دقة الموقع في نقطة واحدة من اللاصق ≤±30 μm طريقة معايرة و تعويض ارتفاع محور Z جهاز استشعار ليزر دقة جهاز استشعار الليزر ± 1 μm المواصفات لـ محور Z الرأس المزدوج غير المتزامن نوع الحقنة المطبقة 5 سي، 10 سي، 30 سي، 50 سي، 70 سي دقة وزن الغراء 10mg±3٪، 5mg±5٪ دقة وحدة الوزن 220 غرام/ 0. 1 ملغ وحدة الرؤية بيكسل 500 واط (2048×2448dpi) العدسة 0.2X عدسة تلي مركزية منظر الكاميرا 35×35ملم دقة بيكسل واحد 17um الكشف عن عرض الغراء ≥ 170um إضافة إلى ذلك، لا يمكن أن يكون هناك أي إضافات إلى الإضافات. < 2.5% AOI FAR (معدل الكشف المفقود) 0 طريقة تحديد الموقع البصري خصائص الشكل قدرة تصحيح الزاوية للصمام الثانوي بالنسبة للصمام الرئيسي 0-180 درجة (7 × 7 ملم قطعة العمل) 0-3 درجة (110 × 110mm قطعة العمل) طريقة إطلاق النار طلقة تحديد الموقع / طلقة الطيران المرافق درجة الحرارة المحيطة والرطوبة 25°C±5°C ، 30 ~ 70% البصمة W × D × H 770×1650×2100ملم (بدون تحميل وتفريغ)    

GS600SU عدم ملء إبعادإيقاف آلة للشكل المكتمل تحت   GS600 SU هو نظام التوزيع التلقائي عبر الإنترنت عالي السرعة و الدقة العالية والذي تم تطويره بناءً على متطلبات عملية Underfill من FCBGA / FCCSP. النظام يتحكم بدقة في درجة حرارة المنتج واللصق، ويحدد بذكاء تسلسل عمل المنتج ووقت إعادة ملء الغراء،الحد من توليد الفراغات وضمان عائد العمليةوفي الوقت نفسه، فإنه متوافق مع بروتوكولات الاتصال الدولية أشباه الموصلات، وتتوافق مع متطلبات إدارة المعلومات.   ■مجالات التطبيق FCBGA التعبئة CUF التطبيق FCCSP التعبئة CUF التطبيق SiP التعبئة CUF التطبيق   ■ المواصفات التقنية مجالات التطبيق FCBGA، FCCSP، SIP العملية المطبقة لا تملأ النموذج مستوى النظافة نظافة منطقة العمل الفئة 100 (ورشة الفئة 1000) الصف 10 (ورشة الصف 100)         الإرسال الآلية نظام نقل X/Y: المحرك الخطي Z: محرك سيرفو و وحدة المسمار قابلية التكرار (3 sigma) X/Y: ±0.003mm، Z: ±0.005mm دقة الموقع (3 sigma) X/Y: ±0.010mm، Z: ±0.015mm سرعة الحركة القصوى X/Y: 1000mm/s Z: 500mm/s الحد الأقصى للسرعة المتسارعة X/Y: 1g، Z: 0.5g دقة الشبكة 1 μm نطاق حركة محور Z ((W × D) 3 5 0 ملم × 4 7 0 ملم طريقة معايرة و تعويض ارتفاع محور Z مستشعر ليزر (مستشعر ليزر) دقة جهاز استشعار الليزر 2μm           نظام التوزيع دقة تحكم الغراء ± 3 ٪ / 1mg التكرار في الموقع النقطي الواحد CPK> 1.0 ± 25 μm قطر الفوهة الدقيق 30 μm وزن الغراء ذو النقطة الواحدة 0،001mg/dot السسكوستية السائلة 200000cps الحد الأقصى لتردد الطائرات 1000 هرتز درجة حرارة تسخين الجهاز درجة حرارة الغرفة ~ 200 درجة مئوية الانحراف من درجة حرارة الدرّاج/البوكس ± 2 °C المواصفات المطبقة للتغليف اللاصق 5CC/10CC/30CC/50CC/70CC نطاق تبريد الحقنة تبرد إلى 15 درجة مئوية تحت درجة حرارة الغرفة نطاق التبريد بالبيزو تبرد إلى درجة حرارة مصدر الهواء المضغوط             نظام المسار عدد المسارات 2 عدد مقاطع الحزام قطعة واحدة السرعة القصوى لنقل السكة الحديدية 300ملم/ثانية وزن ناقل القيادة القصوى 3 كجم الحد الأدنى للفرج 3 ملم نطاق ضبط عرض المسار 60mm~ 162mm قابل للتعديل طريقة ضبط عرض المسار الدليل ارتفاع المسار 910mm~960mm قابل للتعديل السماكة القصوى للقالب/الناقل المطبق 6 ملم نطاق الطول المطبق للركيزة/الناقل 60mm-325mm نطاق ضغط الشفط في الفراغ -50~-80Kpa قابل للتعديل نطاق درجة حرارة التدفئة السفلية درجة حرارة الغرفة 180 درجة مئوية انحراف درجة حرارة التدفئة السفلية ≤ ± 1.5 درجة مئوية       المرافق بصمة القدم W × D × H 2380mm*1550mm*2080mm ((تحميل وتفريغ وعرض مدرج) 2380mm*1200mm*2080mm ((تشمل عملية التحميل والتفريغ ، باستثناء العرض) الوزن 1600 كجم إمدادات الطاقة 200~240VAC،47~63HZ (مصدر طاقة تكييف الجهد أحادي المرحلة) التيار الكهربائي 30A القوة 6.4 كيلوواط استنشاق (0.5Mpa، 450L/min) ×2   تطبيق FCBGA Packaging CUF طلب FCCSP للتعبئة والتغليف CUF تطبيق SiP Packaging CUF وحدات العملية الخاصة أنظمة الطائرات المتحركة الكهربائية الخاصة CUFالعزل اللاصق + التحكم في درجة الحرارة السيراميكية الكهربائية الصلبة في الحلقة المغلقة لتجنب عدم استقرار النظام الناجم عن تأثير درجة الحرارة إنذار مستوى منخفض ثلاثيالكشف الكهربائي + الكشف المغناطيسي + نظام الوزن لتجنب سوء التشغيل الناجم عن نقص الغراء جهاز تسخين الامتصاص بالفراغالفرق في درجة حرارة سطح العلامة الكامل ≤ ± 1.5 درجة مئوية.ويتم مراقبة درجة الحرارة وتعويضها في الوقت الحقيقي لتجنب سوء التشغيل الناجم عن اختلاف درجة حرارة المنتج أثناء التشغيل مسار الضغط لأسفليظل جهاز امتصاص الفراغ ثابتًا دائمًا ، ويتحرك المسار صعوداً وهبوطًا لتجنب سوء التشغيل الناجم عن فقدان السطوح أثناء الحركة المتبادلة لمجهاز امتصاص الفراغ. نظام التحميل والتفريغ من نوع المنصةيتم فرز تسلسل التغذية تلقائيًا ، ويتم الانتهاء من العملية في حدود وقت البلازماتصميم واجهة الإنسان والآلة الصديقة النظام البصريوظائف تحديد الموقع والاكتشافالتفتيش قبل التشغيل لتجنب المواد الواردة المعيبةالتفتيش بعد التشغيل لمنع عيوب الشرائح    

SS200 غطاء المرفق النظام   إنه نظام ربط غطاء مستقر للغاية ودقيق تم تطويره بناءً على متطلبات عملية ربط الغطاء من FCBGA / FCCSP. دمج وظائف التحميل والتفريغ التلقائي، التوزيع، إرفاق الغطاء، Snapcure، وتوزيع وتفتيش الإرفاق،يمكن للنظام أن يدرك تلقائيا وظائف بما في ذلك تحميل وتفريغ تلقائي من الركائز والغطاءات، طلاء الغراء الآلي AD & Tim ، الكشف عن شكل الغراء ، وتثبيت الغطاء واكتشاف نتائج التثبيت ، وعقد ضغط الغطاء والتصلب المسبق.إنها متوافقة مع بروتوكولات الاتصال الدولية للشرائح، وتلبي المتطلبات ذات الصلة لخطوط الإنتاج الآلي.   تكوين نظام التشغيل الآلي بالكامل   آلة تحميل KLM201 آلة تسليم الدواء GS600SD أجهزة التثبيت آلة الضغط الساخنة MP200 كوم2 0 1 آلة تفريغ * الآلات في هذا النظام هي من تصميم وحدات. * تسلسل أو كمية آلة التوزيع، تركيب ويمكن تعديل الجهاز وآلة الضغط الساخن وفقا متطلبات تسلسل العملية ونسبة الكفاءة.   الخصائص والمزايا امتصاص الصدمات الجيد مع هيكل الإطار المعدني للحد من الأثر الناجم عن التشغيل عالي السرعة. حماية ESD تلبي المعايير الدولية IEC & ANSI. وظيفة تعويض موقف التوزيع التلقائي لضمان دقة التوزيع. تصميم وحدات للجهاز بأكمله ، وتشغيل التوزيع الذي يدعم مزامنة الصمام المزدوج مع التداخل / عدم مزامنة الصمام المزدوج. مقاومة للغبار المستوى 10 ، تلبية متطلبات صناعة التعبئة والتغليف المتقدمة. وظيفة الكشف عن عرض الغراء لتجنب مخاطر العملية الناجمة عن سوء التوزيع. وظيفة التفتيش المقابلة لضمان جودة المنتج بعد الانتهاء من كل مرحلة عملية. نظام تحميل من نوع منصة لدعم التشغيل المستمر للمستودع المتعدد.   SS200 حقول التطبيق مجالات التطبيق تطبيق FCBGA / FCCSP لتوصيل الغطاء (بما في ذلك غراء AD ، غراء Tim ، غراء Cap ، Snapcure) حجم PKG المناسب 5 ملم × 5 ملم- 110 ملم × 110 ملم (ماكس) ، قارب (إيز) L × W≤ 325mm × 162mm (ماكس) ، القارب في الخلف 3 كجم (بما في ذلك وزن المنتج) الحجم الأقصى للمجلة L × W × H≤ 330 ملم × 165 ملم × 180 ملم مقعد الصندوق L × W≤ 3 1 6 ملم × 135 ملم طريقة تحميل الغطاء المجلة، حمولة الوعاء (المعيارية) ؛ تغذية نوع الحزام ((اختياري) ؛ الأنبوب / الوعاء الناعم (يمكن تخصيصه)   SS200 المرافق العامة درجة الحرارة المحيطة والرطوبة 25°C±5°C ، 30 ~ 70% البصمة W × D × H 5870 ملم × 1650 ملم × 2100 ملم وزن النظام 5.8T إمدادات الطاقة 200~240VAC، 47~63HZ ، إمدادات الطاقة التكيفية للجهد الفاصل الواحد التيار الكهربائي 81A القوة 18 كيلوواط استنشاق 1770 لتر/دقيقة   وحدة تحميل وتفريغ KLM/KUM201 KLM/ KUM201حاملاً ومحملاً الحجم 1 2 0 0 ملم × 6 1 5 ملم × 2 0 14 ملم FM نظافة وحجر صحي دش ستارة الهواء الأيوني عند المدخل قارب كيو تي 3 قطع طريقة التحميل نوع المنصة قابلية التكرار (3 سيغما) Z/Y: